氬離子激光器以惰性氣體氬離子(Ar?)為工作物質,通過直流放電或脈沖放電使氬原子電離并激發,在離子能級間實現受激發射,后經諧振腔放大輸出激光。
結構
激光管:石英材質,內置陽極(鉭 / 鎢材質)、陰極(鋁 / 鋇材質),管內氣壓 0.1~1Pa,是激光產生的核心部件;
諧振腔:平 - 凹腔或平 - 平腔結構,反射鏡鍍膜(針對特定波長高反射),輸出鏡透過率 10%~30%(按需調節);
激勵電源:直流高壓電源(5~15kV)或射頻電源(13.56MHz),提供放電能量,控制輸出功率穩定性;
冷卻系統:水冷(大功率型號,冷卻水溫度 20~25℃)或風冷(小功率型號),避免激光管過熱導致性能衰減;
控制系統:內置功率反饋模塊、溫度監控、故障報警(過流 / 過熱 / 氣壓異常),支持外部信號控制(模擬量 / 數字量)。
氬離子激光器維護需重點關注冷卻系統、光學組件清潔、氣體管路保養及定期校準,以確保設備穩定運行和延長使用壽命。
冷卻系統維護
水質管理:定期更換去離子水(電導率需≤32μS/cm),檢查離子交換柱顏色變化,深褐色需立即更換 。
防凍防凝露:低溫環境需注入防凍液,避免冷卻水結冰或聚光腔表面“凝露”導致YAG晶體損傷 。
光學組件保養
清潔頻率:日常使用需每周檢查聚焦鏡、反射鏡,用無塵棉簽+99%酒精擦拭,避免纖維殘留 。
鏡片防護:清潔后涂抹防潮硅脂,長期閑置時用防塵罩密封光路窗口 。